章節目錄

第1章　潔淨室與空調1-1　前　言1-2　潔淨室定義與發展史1-3　潔淨室標準與規格1-4　潔淨室適用範圍1-5　潔淨室分類1-6　潔淨空氣流分析1-7　不同障礙物對氣流之影響1-8　潔淨室設計規劃1-9　潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制1-10　潔淨室空調設計1-11　潔淨室建造、組裝材及程序1-12　潔淨室測試與驗收1-13　潔淨室運轉與維護管理1-14　潔淨室自動化系統1-15　潔淨室建造成本分析第2章　超純水處理2-1　前　言2-1-1　純水之功能2-1-2　水中之污染物2-1-3　水中不純物之測定分析2-2　超純水之製造2-2-1　超純水之規範2-2-2　純水製造類別分析2-2-3　純水製造用膜材質比較2-3　高科技產業用超純水2-3-1　高科技廠純水製造流程2-3-2　各製程模組件功能分析2-3-3　超純水管路設計2-3-4　超純水運轉、故障排除與品質監控第3章　中央式化學品供應系統3-1　前　言3-2　化學品供應需求要素3-3　化學品供應種類3-4　化學品供應系統之架構與作用原理3-5　化學品配管與安全考量3-6　結　論第4章　中央式氣體供應系統4-1　前　言4-2　光電廠和半導體廠所使用之氣體4-3　氣體的規範4-4　中央式氣體供應架構4-5　供氣系統的安全技術4-6　氣體的供應輸送4-7　氣體供應的規劃與設計第5章　廢水處理及回收5-1　前　言5-2　　排放標準5-3　廢水種類5-4　廢水處理系統介紹5-5　廢水處理之規劃設計運轉第6章　電力供應與中央監控6-1　前　言6-2　電力供應系統組成6-3　受電供電設備6-4　建廠電力系統規劃6-5　電力供應系統設備運轉管理6-6　廠務中央監控系統第7章　廠務設施架構7-1　前　言7-2　冰水及冷凝冷卻水7-3　熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應系統7-4　製程冷卻水7-5　乾燥壓縮空氣／呼吸用空氣7-6　製程真空和清潔用真空系統第8章　環境保護與工業安全維護8-1　前　言8-2　環保與工安之功能目的8-3　半導體與光電廠廢氣處理規劃8-4　廢氣種類與排放標準8-5　廢氣處理方式8-6　廢棄物處理與減廢8-7　有關環保相關申請文件及流程8-8　工業安全與衛生維護第9章　管路設計及空間佈置規劃9-1　前　言9-2　管路材質選用9-3　氣體管路配管9-4　管路標示9-5　管路設計規劃9-6　管路之空間佈置第10章 建廠設計評估及施工監造管理10-1　前　言10-2　建廠工程規劃10-3　建廠工程設計及施工執行流程第11章 風險評估管理計劃11-1　前　言11-2　風險管理四要素11-3　風險評估程序11-4　損害防阻執行11-5　災害復原計畫第12章 高科技廠建廠及運轉成本分析12-1　前　言12-2　建廠時程12-3　建廠成本分析12-4　廠務系統用量分析第13章 結　語附　 　錄 簡稱字彙